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当前碳化硅半导体器件相关材料特征问题探讨

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何钧、王锡铭、刘超

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北京新材料发展中心

2018

新材料产业
北京新材料发展中心

新材料产业

影响因子：0.4
ISSN：1008-892X
年,卷(期)：2018.(7)