乙硼烷中杂质和气体中微量乙硼烷的气相色谱分析

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中文摘要：作为关键性材料,特种气体乙硼烷的产品纯度对下游产业的正常生产影响巨大.如果晶圆加工环节所使用的气体发生质量问题,将导致整条生产线产品报废,造成巨额损失.目前国内还没有有效的方法可以检测乙硼烷中氩、氧、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳等杂质.为找寻合适的准确的分析方法,本研究根据乙硼烷的性质设计了一套多阀切换装置和利用分子筛色谱柱进行分离,同时配备高灵敏度的氦离子化检测器提高分析精度,并找到阀切换的最佳时间,实现了乙硼烷中杂质的分析方法的建立,实现各杂质的有效分离和定量分析,和不同本底中微量乙硼烷的分析方法,对微量乙硼烷分析过程中的进样重复性、定量线性、检测限等方面进行了深入探讨.

作者：

孙赟珑

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作者单位：

大连大特气体有限公司,大连 116021

关键词：

乙硼烷分子筛色谱柱阀切换特种气体氦离子化

出版年：

2024

DOI：

10.16428/j.cnki.cn10-1469/tb.2024.01.014

中国检验检测

中国计量科学研究院中国合格评定国家认可中心

中国检验检测

影响因子：0.343

ISSN：1673-8764

年,卷(期)：2024.32(1)

参考文献量17