高技术产业集聚能够变革和升级生产方式,开辟创新增长新赛道,是培育新质生产力发展的内在动力。选取2013-2022年我国30个省级面板数据,实证分析高技术产业集聚、要素市场化与新质生产力间的关系。研究结果表明:高技术产业集聚能够显著推动新质生产力发展,且该结论在进行更换核心解释变量、剔除直辖市样本以及缩尾处理这一系列稳健性检验后依旧成立;进一步分析发现,高技术产业集聚对新质生产力的推动作用存在明显异质性,具体表现为高技术产业集聚在人力资本水平较高和经济发展水平较高地区对新质生产力的促进效应更为显著;中介效应检验结果显示,要素市场化在高技术产业集聚对新质生产力的影响效应中发挥中介作用,即高技术产业集聚能够通过优化要素市场化配置推动新质生产力发展;空间溢出效应结果表明,高技术产业集聚对新质生产力存在负向空间溢出效应。基于此,提出构筑高技术产业集聚新高地、深化要素市场化配置改革、辐射引领新质生产力高阶发展的政策建议,为加速推动新质生产力发展提供研究新视野。