硅铝酸盐分子筛对HC1电子气体的深度除水性能研究

Deep dehydration of electronic grade HC1 gas by aluminosilicate molecular sieves

叶向荣 ¹张广第 ²叶素芳 ³夏添 ²周井森 ²张云峰 ²廖进 ²刘俊明²

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作者信息

1. 浙江博瑞电子科技有限公司,浙江衢州324004;浙江师范大学先进催化材料教育部重点实验室,浙江金华321004
2. 浙江博瑞电子科技有限公司,浙江衢州324004
3. 金华职业技术学院,浙江金华321007
折叠

摘要

耐HC1和水协同腐蚀、低二次杂质释出是吸附材料用于HC1电子气体深度除水的先决条件.在考察了一系列工业化硅铝酸盐分子筛的耐蚀性、杂质释出和真实HC1电子气体环境下的深度除水性能后证实,硅铝酸盐分子筛的耐蚀性和除水性能与硅铝摩尔比(SiO2/Al2O3摩尔比)密切相关.硅铝摩尔比为2的分子筛耐蚀性较差,硅铝摩尔比为16～360的分子筛均具有较好的耐蚀性;硅铝摩尔比介于2～300之间的分子筛可将HC1电子气体中约2.pμL/L水分脱除至130～200nL/L,除水效率与速度均随硅铝摩尔比增加呈下降趋势.根据上述规律开发的MS-1分子筛可脱除HC1电子气体中的水分至约160 nL/L,MS-1分子筛经改性后则可将水分除至＜100 nL/L,且对HC1中的金属离子无显著影响.

关键词

氯化氢/电子气体/硅铝酸盐/分子筛/深度除水

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基金项目

国家重点研发计划课题(2017YFB04055801)

出版年

2021

现代化工

中国化工信息中心

现代化工

CSTPCDCSCD北大核心

影响因子：0.553

ISSN：0253-4320

被引量1

参考文献量4

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