现代化工2021，Vol.41Issue(7) ：231-233.DOI:10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2021.07.047

金属烧结滤芯用于多晶硅氯硅烷净化放大研究

Pilot study on metal sintered filter element for purifying chlorosilane in polysilicon production

刘见华 万烨 赵雄 赵宇 周勇毅 严大洲
现代化工2021，Vol.41Issue(7) ：231-233.DOI:10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2021.07.047
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金属烧结滤芯用于多晶硅氯硅烷净化放大研究

Pilot study on metal sintered filter element for purifying chlorosilane in polysilicon production

刘见华 1万烨 1赵雄 1赵宇 2周勇毅 2严大洲1
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作者信息

  • 1. 洛阳中硅高科技有限公司,河南洛阳471000;中国恩菲工程技术有限公司,北京100038;多晶硅制备技术国家工程实验室,河南洛阳471000
  • 2. 洛阳中硅高科技有限公司,河南洛阳471000;多晶硅制备技术国家工程实验室,河南洛阳471000
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摘要

采用金属粉末烧结滤芯对多晶硅制备干法回收工序的氯硅烷进行中试净化研究,在相同过滤精度和面积下,对比处理量对初始过滤压降和不同滤饼剥离方式对剥离率的影响.结果 表明,当原料颗粒浓度为235 g/m3、采用液相反冲滤饼剥离方式时,出口颗粒平均浓度为2.1 g/m3,过滤效率为99.1％.

关键词

金属烧结滤芯/氯硅烷/过滤/多晶硅

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出版年

2021
现代化工
中国化工信息中心

现代化工

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.553
ISSN：0253-4320
被引量1
参考文献量6
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