摘要
采用射频磁控溅射法在透明聚酰亚胺(PI)衬底上制备了系列柔性透明导电薄膜,考察了氧化铟锡(ITO)沉积温度与热处理条件对其透光率和导电性的影响.结果表明,有氧气氛下高温溅射会对导电薄膜的颜色和透光率产生不利影响,而真空高温热处理可使薄膜保持无色和高透光率;导电薄膜的方块电阻和电阻率随沉积与热处理温度增大而明显降低;高温热处理使Sn4+含量显著增大,由此导致载流子浓度大幅提高和导电性显著改善.CF-5表现出良好光学透明性、导电性和可弯折性,可见光区透光率＞88％,电阻率在9.4×10-4 Ω·cm左右.
基金项目
辽宁省自然科学基金指导计划(2019)(2019-ZD-0371)
维普
万方数据