精馏技术在电子化学品制备中的应用进展
Application progress of distillation technology in preparation of electronic grade chemicals
姜占坤 1李海 2华超 2陆平 2白芳2
作者信息
- 1. 中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室,北京100190;济南大学化学化工学院,山东济南250022
- 2. 中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室,北京100190;中国科学院绿色过程制造创新研究院,北京100190
- 折叠
摘要
综述了连续精馏、间歇精馏、亚沸精馏、加减压精馏、共沸精馏、萃取精馏、反应精馏、低温精馏等多种精馏技术在电子化学品制备中的应用现状,并对精馏技术在电子化学品制备过程的应用前景做出了展望.
关键词
精馏/电子化学品/电子特气/高纯溶剂/特殊精馏引用本文复制引用
基金项目
国家重点研发技术项目(2019YFC1907601)
中国科学院绿色过程制造创新研究院联合基金(IAGM2020C08)
宁夏回族自治区重点研发技术项目(2020BDE02025)
出版年
2022
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