四氯化硅冷氢化工艺及机理的研究进展
Research progress on process and mechanism for cold hydrogenation of silicon tetrachloride
刘继三 1丁哲 2张豪豪 2陈锦溢 2华超 2陆平2
作者信息
- 1. 华陆工程科技有限责任公司,陕西西安710065
- 2. 中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室,北京100190
- 折叠
摘要
介绍了国内外冷氢化过程的研究现状,综述了对冷氢化过程工艺优化、热力学分析以及反应机理等领域的研究进展,分析了目前研究与工业应用之间的差距,并展望了未来的研究方向.
关键词
多晶硅/冷氢化/热力学/反应机理/气固反应/第一性原理Key words
polysilicon/cold hydrogenation/thermodynamics/reaction mechanism/gas-solid reaction/first principles thinking引用本文复制引用
基金项目
科技部重点研发计划(2019YFC1907600)
宁夏回族自治区重点研发计划(2020BDE02025)
出版年
2023
NETL
NSTL
维普
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