现代化工2023，Vol.43Issue(12) ：221-224.DOI:10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2023.12.040

ICP-MS法测定电子级高纯盐酸中的痕量元素

Determination of trace elements in electronic grade high purity hydrochloric acid by ICP-MS

周豪 魏永明 杨虎
现代化工2023，Vol.43Issue(12) ：221-224.DOI:10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2023.12.040
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ICP-MS法测定电子级高纯盐酸中的痕量元素

Determination of trace elements in electronic grade high purity hydrochloric acid by ICP-MS

周豪 1魏永明 1杨虎1
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作者信息

  • 1. 华东理工大学化学工程联合国家重点实验室,功能膜科学与工程研究中心,上海 200237
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摘要

为了有效检测电子级高纯盐酸中的痕量元素,利用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)进行测定,用全基体进样系统(AMS)进样,用标准加入法进行上机检测,无需前处理,避免了在样品前处理时的污染问题.电感耦合等离子体质谱法可以消除多分子离子干扰,降低检出限,提高定量准确性.该方法的检出限为 0.05～5.4 ng/L,加标回收率为 96%～108%,稳定性RSD均不超过5%;操作简单,结果可靠,适用于高纯盐酸中痕量元素的快速测定.

关键词

电子级高纯盐酸/电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)/痕量元素

Key words

electronic grade high purity hydrochloric acid/inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS)/trace element

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基金项目

国家自然科学基金(21978082)

出版年

2023
现代化工
中国化工信息中心

现代化工

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.553
ISSN：0253-4320
参考文献量12
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