多晶硅装置尾气回收工艺研究进展

Research advances on tail gas recovery process for polysilicon units

杜盼 ¹陈锦溢 ²丁哲 ¹陆平 ²华超 ²白芳 ²王繁³

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作者信息

1. 中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室,北京 100190;中国科学院大学化学工程学院,北京 100049
2. 中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室,北京 100190;中国科学院绿色过程制造创新研究院,北京 100190
3. 湖北三峡实验室,湖北宜昌 443000
折叠

摘要

综述了改良西门子法多晶硅制备工艺及尾气回收研究现状,从回收率、回收效果及能耗等方面阐述了湿法回收、膜分离回收和干法回收3种尾气回收工艺.重点概述了多晶硅尾气干法回收工艺各个单元的研究进展,并根据现状总结了未来的研究方向.

Abstract

The research status of modified Siemens polysilicon production process as well as tail gas recovery is reviewed.Three kinds of tail gas recovery processes,including wet recovery,membrane separation recovery and dry recovery,are elaborated from the aspects of recovery rate,recovery effect and energy consumption.The research progress on each unit of polysilicon tail gas dry recovery process is summarized in detail,and the future research directions are predicted according to the current situation.

关键词

多晶硅/尾气回收/氯硅烷/膜分离

Key words

polysilicon/tail gas recovery/chlorosilane/membrane separation

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基金项目

宁夏回族自治区重点研发计划(2022BFH2007)

中国科学院过程工程研究所自主部署项目(QYJC-2022-010)

湖北三峡实验室开放创新基金(SC231002)

出版年

2024

现代化工

中国化工信息中心

现代化工

CSTPCDCSCD北大核心

影响因子：0.553

ISSN：0253-4320

参考文献量30

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