现代化工2024，Vol.44Issue(12) ：170.

华中科技大学攻克芯片光刻胶关键技术

华中科技大学官微
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出版年

2024
现代化工
中国化工信息中心

现代化工

CSTPCD北大核心
影响因子：0.553
ISSN：0253-4320
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