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N离子束辅助溅射沉积TiC的表面改性研究

Surface modification of TiC by nitrogen ion beam assisted sputtering deposition

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为了研究溅射沉积过程中离子注入的辅助强化作用,对硬质合金基体分别进行了N离子氛围下溅射沉积TiC和N离子束辅助沉积TiC,对涂层的硬度、结合强度以及成分进行了检测,结果表明:溅射沉积TiC时进行N离子束辅助可以在硬质合金表面形成较硬涂层,且对溅射沉积涂层的结合强度有良好的增强作用,由于N离子的引入,强化过程中有TiN成分生成.

张法光、杜剑平、窦忠宇、丁力

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贵州省机电研究设计院,贵州贵阳550003

安顺学院,贵州安顺561000

离子束辅助溅射沉积 TiC 硬质合金

贵州科学院青年基金贵州省教育厅青年科技人才成长项目

黔科院J合字[2016]17号黔教合KY字[2017]281

2020

现代机械
贵州省机电研究设计院,贵州省机械工程学会

现代机械

影响因子：0.172
ISSN：1002-6886
年,卷(期)：2020.(6)
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