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微纳制造技术的发展趋势与发展建议

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林启敬、张福政、赵立波

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精密微纳制造技术全国重点实验室、西安交通大学仪器科学与技术学院

2024

新华文摘
人民出版社

新华文摘

ISSN:1001-6651
年,卷(期):2024.(23)