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MEMS惯性传感器研究现状与发展趋势

Status and development trend of MEMS inertial sensors

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基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的惯性传感器具有重量轻、成本低、体积小等优点,在民用、航天及军事领域有着极其广阔的应用和发展前景.伴随着MEMS技术的快速发展,MEMS惯性传感器各项性能指标也得到了显著提升.对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计以及MEMS惯性测量单元(IMU)的基本工作原理、分类及研究现状进行梳理,并对其发展趋势进行了分析与展望.

李晓阳、王伟魁、汪守利、彭泳卿、金小锋

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北京遥测技术研究所 北京 100076

MEMS技术 陀螺仪 加速度计 惯性测量单元

国防预研基金

2019

遥测遥控
中国航天工业总公司第七0四研究所

遥测遥控

CSTPCD
影响因子：0.28
ISSN：
年,卷(期)：2019.40(6)
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