面内传播方向对SAW滤波器性能的影响研究
Influence of In-Plane Propagation Direction on the Performance of Surface Acoustic Wave Filters
朱建宇 1魏子杰 2范维 2李沛然 2钱一聪 3帅垚 2吴传贵 2罗文博 2潘忻强 2张万里2
作者信息
- 1. 重庆邮电大学 光电工程学院,重庆 400065;电子科技大学 重庆微电子产业技术研究院,重庆 401332
- 2. 电子科技大学 重庆微电子产业技术研究院,重庆 401332;电子科技大学 电子科学与工程学院,四川 成都 611731
- 3. 电子科技大学 重庆微电子产业技术研究院,重庆 401332
- 折叠
摘要
为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法.在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分别代入滤波器设计中进行比较.实验结果表明,该方法在一定程度上能够有效地增加带外抑制,对过渡带抑制能力有2～4 dB的提升,且具有设计简便,占用空间小等优点.
Abstract
To meet the increasing demand for Q-value and out-of-band suppression in narrowband surface acous-tic wave filters,this paper proposes a design method based on a new type of piezo on insulator(POI)structure re-sonator.The purpose of changing the wave propagation angle is achieved by rotating the resonator,and accurate ex-perimental data are obtained using a two-dimensional full model,which is compared with the original structure re-sonator in the filter design.The experimental results show that this method can effectively increase out-of-band sup-pression,with a 2-4 dB improvement in transition band suppression ability.Additionally,the design is simple and requires little space.
关键词
声表面波(SAW)/窄带/谐振器/带外抑制/压电材料Key words
surface acoustic wave/narrowband/resonator/out-of-band rejection/piezoelectric materials引用本文复制引用
基金项目
四川省科技计划基金资助项目(2020YFJO02)
出版年
2024
NETL
NSTL
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