宇航计测技术2023，Vol.43Issue(1) ：1-5,67.DOI:10.12060/j.issn.1000-7202.2023.01.01

基于双光梳的激光吸收谱真空分压力测量技术研究

Research on Vacuum Partial Pressure Measurement Technology based on Dual-comb with Laser Absorption Spectrum

范栋 李得天 成永军 代虎 习振华 贾文杰
宇航计测技术2023，Vol.43Issue(1) ：1-5,67.DOI:10.12060/j.issn.1000-7202.2023.01.01
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基于双光梳的激光吸收谱真空分压力测量技术研究

Research on Vacuum Partial Pressure Measurement Technology based on Dual-comb with Laser Absorption Spectrum

范栋 1李得天 1成永军 2代虎 2习振华 2贾文杰2
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作者信息

  • 1. 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,兰州730000;东北大学机械工程与自动化学院,沈阳110819
  • 2. 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,兰州730000
  • 折叠

摘要

为了提高真空分压力测量的准确度和灵敏度,弥补传统测量方法的固有缺陷,真空分压力将结合理想气体定律,使用气体密度来表征.利用气体分子的红外吸收光谱,通过双光梳光谱技术测量其对特定波长光的吸收可实现对混合气体中目标气体密度的精确测量,进而反演出真空分压力.研建了基于电光双光梳的真空分压力测量系统,结合双光梳外差光谱技术与腔增强光谱技术,实现了非侵入、大动态、高速度的真空分压力测量.实验对CO2,CO,N2三元混合气体中CO2与CO的真空分压力进行了测量,其相对误差分别为2.84％和2.77％.通过不确定度分析得出,吸收线强度误差是真空分压力测量中最主要的不确定度分量.

关键词

真空分压力/电光双光梳/吸收光谱

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出版年

2023
宇航计测技术
中国航天科技集团一院102所 二院203所

宇航计测技术

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.189
ISSN：1000-7202
参考文献量3
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