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半导体光刻技术及设备的发展趋势

Development trend of semiconductor lithography technology and equipment

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半导体的概念对于普通人来讲稍显陌生,但是我们的生活却又离不开它.在信息化的背景下,人们生活中对电子产品也是越发依赖.半导体主要应用于通讯、高速计算机、智能化生活等领域.信息化时代的半导体技术大部分还是受海外企业的掌控,但我国的半导体市场也在高速前进.在此以半导体光刻技术及设备的发展趋势为主题进行讨论与分析,望能对半导体光刻技术及设备的未来发展提供一些借鉴和参考.

温菊红

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半导体材料 光刻技术及设备 发展趋势

2016

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科学技术部西南信息中心

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ISSN：1009-6434
年,卷(期)：2016.(6)
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