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硒化银薄膜-氧化锰纳米颗粒自组装薄膜电阻转变特性的研究

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采用热分解法制备粒径约为30 nm的单分散氧化锰纳米颗粒,然后通过浸渍提拉法将这些纳米颗粒在铂底电极上自组装成氧化锰薄膜,接着利用热蒸镀工艺沉积硒化银薄膜,最后利用磁控溅射工艺沉积钛顶电极,获得具有Ti/Ag2Se/MnO/Pt结构的阻变存储器。该器件表现出双极性电阻转变特性,并且具有良好的循环特性和数据保持特性,表明Ti/Ag2Se/MnO/Pt阻变存储器在非易失性存储器件中具有潜在的应用前景。
Research on Resistive Switching Properties of Ag2Se Thin Film-MnO Nanoparticles Self-assembled Thin Film
Monodisperse manganese oxide nanoparticles with particle size of about 30 nm were chemically synthesized via thermal decomposition.A close-packed nanoparticle monolayer was formed on a Pt bottom electrode via dip-coating and annealing.As2Se/MnO heterostructures with a Ti top electrode and a Pt bottom electrode were fabricated.The Ti/Ag2Se/MnO/Pt devices presented stable bipolar resistive switching behav-iors,with low voltage operation and good endurance and retention properties.It proves the potential application of Ti/Ag2Se/MnO/Pt devices for non-volatile resistive switching memory devices.

Ag2SeMnOthin filmresistive switching memory device

罗涵琼、胡全丽

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内蒙古民族大学 化学与材料学院, 内蒙古 通辽 028000

硒化银 氧化锰 薄膜 阻变存储器

内蒙古自治区高等学校科学技术研究自然科学重点项目内蒙古民族大学博士启动基金内蒙古自治区自然科学基金青年基金

NJZZ22461BS4562022QN02016

2024

云南化工
云南省化工研究院 云天化集团有限责任公司 云南煤化工集团有限公司 云南省化学化工学会

云南化工

影响因子:0.272
ISSN:1004-275X
年,卷(期):2024.51(2)
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