仪器仪表学报2005，Vol.26Issue(10) ：1093-1096,1100.

CCD尺寸检测中安装误差对测量精度的影响

Effect of Alignment Error to Measurement Accuracy in CCD Dimension Measuring System

武利生 杨丽凤 李元宗
仪器仪表学报2005，Vol.26Issue(10) ：1093-1096,1100.
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CCD尺寸检测中安装误差对测量精度的影响

Effect of Alignment Error to Measurement Accuracy in CCD Dimension Measuring System

武利生 1杨丽凤 1李元宗1
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作者信息

  • 1. 太原理工大学,太原,030024
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摘要

在用面阵CCD进行尺寸检测时,由于CCD平面与被测尺寸平面不平行而带来了误差.利用齐次坐标变换建立了从工件平面到CCD平面的坐标变换关系,推导尺寸投影变换关系及误差表达式和最大误差公式,并讨论了误差变化的规律及减小或消除这一误差的方法.

关键词

CCD/尺寸检测/误差

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基金项目

山西省自然科学基金(20021039)

出版年

2005
仪器仪表学报
中国仪器仪表学会

仪器仪表学报

CSCD北大核心
影响因子：2.372
ISSN：0254-3087
被引量6
参考文献量2
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