首页|硬度压痕表面积的共聚焦测量方法

硬度压痕表面积的共聚焦测量方法

扫码查看
原文链接
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据
  • 维普
提出了一种对角线长度小于20μm的硬度压痕表面积共聚焦测量方法.激光扫描共聚焦显微镜以0.1μm的间隔逐层对试样的压痕进行扫描测量,对全部数据集合的包络拟合获得压痕的三维数据.旋转平面法与法向量特征相结合精确提取压痕,通过三角网格构造算法得到压痕的表面积,进而计算出试样的硬度值.共聚焦测量方法与传统成像光学显微镜测量方法相比分辨率提升了30％,合成标准不确定度平均减小1 HV.实验结果表明:共聚焦测量方法实现了压痕表面积的高精度、高稳定性测量.
Confocal measurement for surface area of hardness indentation

张凯林、石伟、程银宝、王中宇

展开 >

北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院,北京 100191

北京长城计量测试技术研究所,北京 100095

中国计量大学 计量测试工程学院,浙江 杭州 310018

压痕 表面积 硬度 共聚焦 测量

工信部民机专项科研四川省科技计划项目

MJZ-2018-J-702019YFSY0039

2020

10.5768/JAO202041.0603001

应用光学
中国兵工学会　中国兵器工业第二0五研究所

应用光学

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.517
ISSN：1002-2082
年,卷(期)：2020.41(6)
  • 5