应用激光2019，Vol.39Issue(2) ：346-354.

飞秒激光在微加工领域的研究进展及其应用

Research Progress and Application of Femtosecond Laser in Microfabrication

杨涵 于希辰 吴一帆 刘海青 李东亚
应用激光2019，Vol.39Issue(2) ：346-354.
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飞秒激光在微加工领域的研究进展及其应用

Research Progress and Application of Femtosecond Laser in Microfabrication

杨涵 1于希辰 1吴一帆 1刘海青 2李东亚1
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作者信息

  • 1. 苏州大学应用技术学院,江苏苏州215325
  • 2. 同济大学航空航天与力学学院,上海200092
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摘要

近年来,为了使加工技术更加精准、无误差,各国研究者投入到了微加工领域的研究.而飞秒激光以其极高的峰值、较小的损伤阈值、高的聚焦力,使其成为国内外在微加工领域的热点研究对象.总结了近年来飞秒激光在微加工领域的研究进展,并从微加工金属材料、集成光学、生物医疗、纳米加工领域进行综述,最后指出飞秒激光发展到现在所存在的问题及对未来的期想.

关键词

微加工/飞秒激光/损伤阈值/集成光学

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基金项目

江苏省大学生创新创业训练计划资助项目(201813984013X)

出版年

2019
应用激光
上海市激光技术研究所

应用激光

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.461
ISSN：1000-372X
被引量5
参考文献量21
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