蓝宝石晶片加工技术现状与发展趋势

扫码查看

原文链接

中文摘要：蓝宝石晶体具有强度高、耐高温、耐化学腐蚀、抗磨损等优良性能,在半导体照明、国防军工、航天航空、智能穿戴、电子产品等领域得到广泛的应用.本文对实现蓝宝石高效低损伤的加工技术进行了总结和分析,并指出蓝宝石晶体加工过程中存在的问题及未来发展的趋势.

外文标题：Current Situation and Development Trend of Sapphire Wafer Processing Technology

作者：

莫东鸣

展开 >

作者单位：

重庆工业职业技术学院机械工程与自动化学院,重庆401120

关键词：

蓝宝石晶片加工技术切割研磨抛光

基金：

重庆市高等教育教学改革项目重庆市基础研究与前沿探索专项

项目编号：

203699cstc2018-jcyjAX0597

出版年：

2022

DOI：

应用能源技术

黑龙江省能源研究所黑龙江省节能技术服务中心黑龙江省能源发展战略研究会黑龙江省节能协会

影响因子：0.332

ISSN：1009-3230

年,卷(期)：2022.(8)