摘要
为了提高镀层的表面质量,提出了一种超声辅助电镀的方法.超声的空化与搅拌作用可以影响电镀的电沉积过程.设计了合理的换能器结构,并搭建了超声辅助电镀装置.通过对模型进行压电声学场与电镀场耦合仿真分析,结果表明:在硫酸铜电解液,镀铜时间60 s、电压300 V条件下,进行超声辅助电镀,镀层厚度分布均匀,镀层中部电流密度分布均匀,边缘最大电流密度是未加超声的2倍左右.基于仿真结果,进行相同的实验测试,结果表明:超声辅助电镀可以提高镀层的均匀性,减少铜颗粒表面的杂质,提高表面的光洁度.阴极样品距离换能器头部位置在60 mm左右,镀层质量良好.
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