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离子溅射对氚钛靶寿命的影响

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应用TRIM 程序模拟了离子在氚钛靶上的溅射产额。结果显示,O+、N+、C+和D+2等在氚钛靶上的溅射是导致氚钛靶寿命下降的重要因素。为了减小离子溅射对氚钛靶寿命的影响,束流入射角应小于45°。
Sputtering Effect on Life-time of Titanium Tritide Target

姚泽恩、陈尚文、董明义、贾文宝、关永超

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兰州大学,现代物理系,甘肃,兰州730000

中国工程物理研究院,四川,绵阳621900

离子溅射 氚钛靶 寿命

甘肃省自然科学基金国家经贸委高技术开发资助项目

ZS001-A25-005-Z96BK-474

2003

原子能科学技术
中国原子能科学研究院

原子能科学技术

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子:0.372
ISSN:1000-6931
年,卷(期):2003.37(1)
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