自动化应用2020，Issue(1) ：138-140,146.

冷却水在半导体厂的节能利用

黑宝亮
自动化应用2020，Issue(1) ：138-140,146.
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冷却水在半导体厂的节能利用

黑宝亮1
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作者信息

  • 1. 中国电子系统工程第二建设有限公司,江苏 无锡 214000
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摘要

半导体制程对室内的恒温恒湿生产环境有极高的要求,这就使得空调加热系统要频繁地运行以应对室内温度的变化,加热能耗较大.而很多半导体厂由于生产工艺的需要,制冷机基本上一年四季都在运行,同时空调系统不得不通过冷却塔排掉大量的余热,如果能够将这部分热量用于空调系统的加热系统,那么可以节省大量的能耗.通过以某半导体厂房为例,根据日常运行纪录对空调电加热器耗电进行统计分析,提出冷却水余热利用方案并进行了理论计算,通过对计算结果和日常运行情况的比较,表明利用冷却水的余热来降低加热能耗是可行的.

关键词

冷却水/空调/余热/节能

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出版年

2020
自动化应用
重庆西南信息有限公司

自动化应用

影响因子：0.156
ISSN：1674-778X
参考文献量2
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