摘要
本文基于等离子体化学气相沉积技术(PECVD),在PET薄膜表面沉积一层SiOx薄膜,以改善PET包装材料的阻隔性能.SiOx阻隔薄膜的组成成分和微观形态分别通过傅里叶红外光谱(FTIR)和原子力显微镜(AFM)表征,SiOx/PET复合包装薄膜的阻隔性能通过氧气透过率(OTR)表征.实验结果显示,使用PECVD技术在PET表面沉积一定厚度的SiOx薄膜,可大大改善PET包装材料的阻隔性能.同时,等离子体工艺中的脉冲功率、工作气压等参数均对SiOx/PET复合薄膜的结构成分、微观形貌及阻隔性能有影响.随着SiOx薄膜沉积厚度增加,SiOx/PET复合薄膜阻隔性能变好,但当SiOx阻隔膜沉积厚度超过临界值时,SiOx/PET复合薄膜的阻隔 性几乎保持不变.
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