高效消除色差的扫描电子显微镜——Magellan
陈卿1
作者信息
- 1. 同济大学电子与通信学院工程硕士,同济200135
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摘要
扫描电子显微镜是1965年发明的先进的显微结构研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样黼，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。
关键词
扫描电子显微镜/Magellan/色差/二次电子发射/表面形态/显微结构/电子信号/相互作用引用本文复制引用
出版年
2012
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