高效消除色差的扫描电子显微镜—

高效消除色差的扫描电子显微镜——Magellan

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中文摘要：扫描电子显微镜是1965年发明的先进的显微结构研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样黼，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。

作者：

陈卿

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作者单位：

同济大学电子与通信学院工程硕士,同济200135

关键词：

扫描电子显微镜 Magellan 色差二次电子发射表面形态显微结构电子信号相互作用

出版年：

2012

中国包装科技博览

中国包装总公司

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ISSN：1009-914X

年,卷(期)：2012.(9)