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450 mm Silicon Wafers Are Imperative for Moore's Law but maybe Postponed

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General Research Institute for Nonferrous Metals, Beijing 100088, China

2015

10.15302/J-ENG-2015060

工程科学(英文版)
中国工程院出版委员会

工程科学(英文版)

影响因子：0.226
ISSN：1672-4178
年,卷(期)：2015.1(2)
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