刘国霞、崔慧敏、张海林
青岛赛瑞达电子装备股份有限公司,山东青岛 266100
立式合成炉 纳米材料 加热器 工艺腔室 气体控制系统 收料装置
2016
10.13535/j.cnki.11-4406/n.2016.08.013