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MEMS传感器发展现状与应用

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MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器,具有很多新的特性,相对传统传感器其具有更大的优势.在追求微型化的当代,其具有良好的发展前景,必将受到各个国家越来越多的重视.文章首先介绍了MEMS传感器的分类和典型应用,然后着重对几个传感器进行了介绍,最后对MEMS传感器的发展趋势与发展前景进行了分析.

肖应超

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西北工业大学航天学院,陕西西安 710072

MEMS传感器 加速度计 陀螺仪 纳米技术 微机构 微传感器

2016

10.13535/j.cnki.11-4406/n.2016.35.022

中国高新技术企业(中旬刊)
中国统计出版社

中国高新技术企业(中旬刊)

影响因子：0.805
ISSN：1009-2374
年,卷(期)：2016.(12)
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