中国高新技术企业2017，Issue(8) ：104-106.DOI:10.13535/j.cnki.11-4406/n.2017.08.050

基于多孔介质理论的腔室流场分析

王绍勇 尹宁
中国高新技术企业2017，Issue(8) ：104-106.DOI:10.13535/j.cnki.11-4406/n.2017.08.050
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基于多孔介质理论的腔室流场分析

王绍勇 1尹宁1
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  • 1. 沈阳芯源微电子设备有限公司,辽宁沈阳 110168
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摘要

文章对半导体设备中腔室内的供风结构进行研究,采用数值分析的方法,对供风结构进行流场分析,根据分析的结果对结构进行优化,以达到理想的出风一致性效果.对测试和验证给予定性分析和指导,节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期.

关键词

高效空气过滤器/气流分布一致性/多孔介质/数值模拟/供风结构

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基金项目

沈阳市2015年市科技计划项目(F15-014-0-00)

出版年

2017
中国高新技术企业
中国统计出版社

中国高新技术企业

影响因子：0.951
ISSN：1009-2374
参考文献量1
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