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基于多孔介质理论的腔室流场分析

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文章对半导体设备中腔室内的供风结构进行研究,采用数值分析的方法,对供风结构进行流场分析,根据分析的结果对结构进行优化,以达到理想的出风一致性效果.对测试和验证给予定性分析和指导,节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期.

王绍勇、尹宁

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沈阳芯源微电子设备有限公司,辽宁沈阳 110168

高效空气过滤器 气流分布一致性 多孔介质 数值模拟 供风结构

沈阳市2015年市科技计划项目

F15-014-0-00

2017

10.13535/j.cnki.11-4406/n.2017.08.050

中国高新技术企业
中国统计出版社

中国高新技术企业

影响因子：0.951
ISSN：1009-2374
年,卷(期)：2017.(8)
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