中国化工贸易2017，Vol.9Issue(29) ：66.

多晶硅生产中合成氯硅烷杂质去除工艺浅析

杨伟成 晋正茂
中国化工贸易2017，Vol.9Issue(29) ：66.
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多晶硅生产中合成氯硅烷杂质去除工艺浅析

杨伟成 1晋正茂1
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  • 1. 内蒙古神舟硅业有限责任公司,内蒙古 呼和浩特 010070
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摘要

合成氯硅烷是多晶硅生产中杂质的主要来源,本文从合成氯硅烷去除的工艺流程进行了简要说明,重点阐述了如何有效去除合成氯硅烷中的微量杂质从而生产出高品质合成精制三氯氢硅的工艺要点.

关键词

多晶硅/合成氯硅烷/微量杂质/合成精制三氯氢硅

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出版年

2017
中国化工贸易
中国化工信息中心

中国化工贸易

影响因子：0.06
ISSN：1674-5167
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