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用椭偏法研究Al2O3薄膜的宽光谱特性

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为了获得Al2O3薄膜的光学常数，采用德国SENTECH生产的SE850宽光谱反射式光谱型椭偏仪，测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在K9玻璃基底上的Al2O3薄膜样品，得到了Al2O3薄膜在380nm~2300nm宽光谱上的光学常数曲线和薄膜厚度。结果表明:在建立单层模型、双层模型、单层加粗糙层模型三个模型后，分别采用了Cauchy模型和Tauc-Lorentz模型对薄膜进行测量，三个模型得到的厚度和光学常数结果基本一致，且与TFCalc软件的Al2O3薄膜的厚度计算值非常接近。不同模型下的光学薄膜的测量结果相近，说明该工艺条下镀制的光学薄膜厚度均匀，性能稳定，同时得到薄膜的折射率曲线。测量结果对Al2O3薄膜的膜系设计和多层膜的制备有一定参考价值。

唐帆斌

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南宁学院通识教育学院,广西 南宁 530200

Al2O3薄膜 椭偏仪 薄膜厚度 光学常数

南宁学院校级科研项目广西高校中青年教师基础能力提升项目

2017XJ092018KY0751

2020

中国化工贸易
中国化工信息中心

中国化工贸易

影响因子：0.06
ISSN：1674-5167
年,卷(期)：2020.12(4)
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