PFG(Plasma Flood Gun),即等离子淋浴发生器,PFG控制系统的控制方式主要是通过硬件电路来实现的,该硬件电路可以自动调节到满足工艺所要求的弧流与灯丝电流.先前的控制方式是依靠软件赋值来调节灯丝电流与弧压电流,这样的控制方式存在抗干扰性差、调节时间长、稳态幅值波动大和灯丝熔断率高等问题.为解决上述问题,本文采用硬件闭环反馈调节的方式来控制灯丝电源和弧压电源,当通过上位机设定所需要的弧流及灯丝电流限制之后,此方法能简化操作方式、减少调整时间、提高稳态性能和减小灯丝损坏率,从而提高工作效率、提升经济效益.
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