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波面功率谱密度中频波段的干涉测试研究

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讨论了干涉测试表面功率谱密度(PSD)的移相式数字波面干涉仪需注意的问题,即如何保持严格相干性;引起波面测量误差的干涉场杂纹消除的原理和方法;干涉仪频响特性的标定等.
Interferometric Test of Power Spectral Density in Spatial Mid-frequency Band of the Wavefront

高志山、陈进榜、何勇、张国安、吴新民

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南京理工大学电光学院,南京,210094

波面功率谱密度 空间频率 干涉仪

2000

中国激光
中国光学学会　中科院上海光机所

中国激光

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：2.204
ISSN：0258-7025
年,卷(期)：2000.27(4)
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