中国激光2009,Vol.36Issue(3) :746-751.DOI:10.3788/CJL20093603.0746

基于系统建模的四像限光电探测器对准与微位移测量系统

Alignment and Micro-Displace Measurement with Four-Quadrant Photo-Detector by System Modeling

汤晓君 李玉军 刘君华 梁琨
中国激光2009,Vol.36Issue(3) :746-751.DOI:10.3788/CJL20093603.0746

基于系统建模的四像限光电探测器对准与微位移测量系统

Alignment and Micro-Displace Measurement with Four-Quadrant Photo-Detector by System Modeling

汤晓君 1李玉军 2刘君华 1梁琨3
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作者信息

  • 1. 西安交通大学电气工程学院,陕西,西安,710049
  • 2. 西安交通大学电气工程学院,陕西,西安,710049;西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西,西安,710048
  • 3. 西安理工大学计算机科学与工程学院,陕西,西安,710048
  • 折叠

摘要

通过对基于四像限光电探测器的对准系统的光路分析,将系统的输入输出关系的确定转化为平面光照面积的计算,并给出了探测器各像限光照面积的求取方法,从而构建了该系统的数学模型.对该系统进行了仿真,并给出了系统的实测结果.仿真结果表明,通过设置不同的米字型标记参数,系统的输入输出关系具有不同的线性度.证明的确存在一个最佳结构参数组合,存在优化的可能.实测结果表明,该系统的最大对准偏差小于2 ,实测偏差小于2.佐证了模型的正确性,表明四像限光电探测器的对准应用可扩展到微量位移的测量.模型省去了繁杂的标定工作,消除了标定引入的非线性误差,提高了探测器的应用效率和准确度,因此具有较高的实际意义.

关键词

光学器件/四像限光电探测器/对准/微位移测量/系统建模

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基金项目

国家高技术研究发展计划(863计划)重大项目(200XAA4C3000)

出版年

2009
中国激光
中国光学学会 中科院上海光机所

中国激光

CSTPCDCSCD北大核心EI
影响因子:2.204
ISSN:0258-7025
被引量3
参考文献量8
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