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红外光谱技术在硅基材料中的应用
红外光谱技术在硅基材料中的应用
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中文摘要：
太阳能电池和半导体器件的主要材料为硅基材料.作为基础材料,硅材料中的杂质含量和性能一直是研究热点.随着科技的发展,红外光谱技术已不仅局限于物质的定性分析,在其他测试领域也有广泛的应用.文章详细分析了红外光谱技术在硅基材料中的应用,发现应用傅立叶变换红外光谱技术可有效提高硅基材料各方面的性能.
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作者：
由欣然、郭国建、鲁毅、董俊伟、王泽熙
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作者单位：
山东非金属材料研究所
关键词：
计量学
红外光谱
硅基材料
杂质含量
厚度
出版年：
2024
中国计量
中国计量科学研究院
中国计量
影响因子：
0.103
ISSN：
1006-9364
年,卷(期)：
2024.
(10)
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