本文利用砂磨、造粒、模压成型、高温烧结一系列方法制备出In2O3:SnO2=90:10的ITO粉体与高密度的ITO靶材,研究了In2O3 和SnO2 比表面积和ITO粉末松装密度对ITO靶材密度的影响.In2O3 粉末比表面积采用7g/m2、9g/m2、10g/m2、12g/m2,SnO2 比表面积采用6g/m2、8g/m2、10g/m2、14g/m2,砂磨介质氧化锆磨球采用0.3mm、0.5mm、0.8mm,进行多批次砂磨实验,采用统一烧结曲线.结果表明:当In2O3 比表面积在12g/m2 左右时,SnO2 比表面积在10g/m2 左右时,采用0.8mm氧化锆磨球砂磨,松装在1.5g/cm3～1.55g/cm3 之间,粉末成型烧结时ITO靶材密度最高.
NETL
NSTL
万方数据
