中国机械2020，Issue(2) ：67-68.

浅析真空镀膜稳定性与均匀性

许红灯 盛耀武
中国机械2020，Issue(2) ：67-68.
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浅析真空镀膜稳定性与均匀性

许红灯 1盛耀武2
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作者信息

  • 1. 淮海工学院 江苏 连云港 222002
  • 2. 中国科学技术大学 安徽 合肥 230000
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摘要

影响真空镀膜质量高低的因素多种多样,而真空镀膜稳定性与均匀性也会直接受镀膜工艺等因素的直接影响.本文将以真空蒸发镀膜和PECVD法为例,分析影响真空镀膜稳定性与均匀性的主要因素,期望能对今后相关研究和提高实际操作中的真空镀膜质量有所帮助和借鉴意义.

关键词

真空镀膜/稳定性/均匀性

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出版年

2020
中国机械
中国工业报社

中国机械

ISSN：1003-0085
被引量1
参考文献量1
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