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浅析真空镀膜稳定性与均匀性

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影响真空镀膜质量高低的因素多种多样,而真空镀膜稳定性与均匀性也会直接受镀膜工艺等因素的直接影响.本文将以真空蒸发镀膜和PECVD法为例,分析影响真空镀膜稳定性与均匀性的主要因素,期望能对今后相关研究和提高实际操作中的真空镀膜质量有所帮助和借鉴意义.

许红灯、盛耀武

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淮海工学院 江苏 连云港 222002

中国科学技术大学 安徽 合肥 230000

真空镀膜 稳定性 均匀性

2020

中国机械
中国工业报社

中国机械

ISSN：1003-0085
年,卷(期)：2020.(2)
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