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微纳定位工作台机械结构设计

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针对微纳定位工作台Y平移台应变受Z轴机构重力影响较大的问题,对工件台定位平台的结构进行了优化设计.同时改进工作台的调节方式,对今后机械生产趋向微米级、纳米级具有较高的研究意义和实用价值.

杜雅欣、徐世福、郭洁宇

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宁波大学科学技术学院机械工程与自动化学院 浙江 宁波 315212

微纳 三维坐标测量仪 六自由度

2020

中国机械
中国工业报社

中国机械

ISSN：1003-0085
年,卷(期)：2020.(6)
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