中国建筑金属结构2024，Vol.23Issue(z2) ：38-40.DOI:10.20080/j.cnki.ISSN1671-3362.2024.S2.012

某电子洁净厂房超纯水方案设计

赵立德 屈红超
中国建筑金属结构2024，Vol.23Issue(z2) ：38-40.DOI:10.20080/j.cnki.ISSN1671-3362.2024.S2.012
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某电子洁净厂房超纯水方案设计

赵立德 1屈红超1
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  • 1. 中国电子系统工程第四建设有限公司,北京 100070
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摘要

在半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造等电子洁净厂房设计时,工艺设备通常需要超纯水(18.2MΩ·cm)进行清洗,本文通过超纯水系统方案设计、供水管路系统、纯水管材选择等的介绍,以期为超纯水系统设计提供参考.

关键词

电子洁净厂房/超纯水/半导体

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出版年

2024
中国建筑金属结构
中国建筑金属结构协会

中国建筑金属结构

影响因子：1.638
ISSN：1671-3362
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