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提升高压器件氦质谱真空室法检漏效率

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丁海城、许飞

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中国工程物理研究院材料研究所

2023

中国科技信息
中国科技新闻学会

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影响因子：0.442
ISSN：1001-8972
年,卷(期)：2023.(19)