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MEMS麦克风芯片级技术原理专利分析

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高雅、叶会、薛文婷

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国家知识产权局专利局专利审查协作四川中心

2023

中国科技信息
中国科技新闻学会

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影响因子：0.442
ISSN：1001-8972
年,卷(期)：2023.(23)