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高精度静电惯性传感器

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高精度静电惯性传感器是卫星重力测量、空间引力波探测和航天器微重力测量等应用领域的关键技术之一.本文介绍高精度空间静电惯性传感器的基本工作原理,给出惯性传感器的噪声模型,明确惯性传感器主要指标的设计原则,阐述惯性传感器的地面测试方法,基于惯性传感器敏感探头、检验质量和极板框架的精密结构体系,以及惯性传感器平衡间距、偏置电压、载波电压和反馈电压的参数设计,实现了惯性传感器分辨率10-8到10-12m/s2/Hz1/2量级的性能指标,满足了不同航天任务对惯性传感器量程和分辨率的需求,最后对更高精度的惯性传感器研究进行展望.
High precision electrostatic inertial sensor

王铖锐、白彦峥、蔡林、胡明、刘力、马云、屈少波、吴书朝、尹航、于健博、周泽兵

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华中科技大学物理学院,武汉430074

引力波探测 空间引力实验 高精度惯性传感器

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2023

10.1360/SSPMA-2022-0483

中国科学(物理学 力学 天文学)
中国科学院

中国科学(物理学 力学 天文学)

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.644
ISSN：1674-7275
年,卷(期)：2023.53(5)
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