摘要
在半导体生产制造中,设备的故障诊断与维护是一个重要环节,其影响因素众多,例如工艺、设备、环境等.有研究表明,设备故障的95%～100%发生在生产运行中,只有5%～15%发生在设备运行前.可见,设备故障具有突发性,对生产影响极大.预测性维修技术的核心是通过监测、诊断、评估等手段获取设备的状态信息,以避免或减少设备故障带来的损失.实施预测性维修技术可以在不影响正常生产的前提下对设备进行维护保养,从而使设备保持最佳的工作状态,延长使用寿命.在半导体生产制造过程中,预测性维修技术具有广泛的应用前景.
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