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液晶面板制作中配向膜涂布前清洗技术

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由于配向膜涂布工艺中产生的主要不良为配向膜漏印、膜厚不均、脱膜、异物、划伤等.其中异物、划伤、脱膜不良主要来源于上部工序对基板清洗不彻底.故对配向膜涂布前清洗工艺提出了更高的要求.通过对现有配向膜涂布前清洗工艺中所涉及的清洗方法进行介绍,说明不同的清洗方法对基板清洗的作用及其对配向膜涂布工艺的重要性.
Cleaning Technology before Coating the Alignment Film in the Production of LCD Panels

two-fluid cleaningHPMJ cleaninghigh pressure cleaningEUV cleaningUSC cleaning

张帆、宋金林、施利君、胡磊

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苏州晶洲装备科技有限公司,江苏苏州,215000

滚刷清洗 二流体清洗 超高压清洗 EUV清洗 USC清洗

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BA2020039CSRC21050

2023

中国洗涤用品工业
中国洗涤用品工业协会

中国洗涤用品工业

影响因子：0.105
ISSN：1672-2701
年,卷(期)：2023.(7)
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