真空2009，Vol.46Issue(6) ：43-46.

微米及纳米金刚石薄膜的制备及其组织性能研究.

Deposition of micro/nano diamond films and their properties

史新伟 李杏瑞 王新昌 程春晓 柴士磊
真空2009，Vol.46Issue(6) ：43-46.
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微米及纳米金刚石薄膜的制备及其组织性能研究.

Deposition of micro/nano diamond films and their properties

史新伟 1李杏瑞 2王新昌 1程春晓 1柴士磊1
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作者信息

  • 1. 郑州大学物理工程学院,材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052
  • 2. 郑州大学材料科学与工程学院,河南,郑州,450001
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摘要

采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法在铜衬底上沉积了微米和纳米两种金刚石薄膜,过渡层均为钛一铝一钼.用场发射扫描电子显微镜(FESEM)观察薄膜的表面及断面形貌,用拉曼(Raman)光谱测量所得金刚石薄膜的质量,利用压痕法测试了所得薄膜的附着性能,研究结果表明:过渡层可有效提高微米金刚石薄膜在铜衬底上的附着力,反应气氛中Ar的存在可促使纳米金刚石薄膜的形成,改善薄膜表面的粗糙度.

关键词

过渡层/金刚石薄膜/铜衬底/附着力

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基金项目

国家自然科学基金(50702051)

河南省科技项关项目(0624250014)

郑州大学校内教育基金()

出版年

2009
真空
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所

真空

CSTPCD北大核心
影响因子：0.926
ISSN：1002-0322
被引量2
参考文献量5
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