弹载速调管微小漏孔的检测方法

Detection Method for Small Leaks of Missile-Borne Klystron

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中文摘要：本文详细介绍了弹载速调管微小漏孔检测的方法和原理.首先明确了加压检测方法流程,对一些关键参数(如氦气存储压力、存储时间,器件内真空度表征方法等)进行了理论计算与分析,得出了具有指导意义的结果;然后对加压检测设备的主要组成部分进行了详细介绍;最后利用研制好的设备进行了弹载速调管的高压存储实验,结果表明该方法可以高效剔除不合格器件,达到了预期要求,客户反馈良好.

作者：

宋艳鹏、强博、韩永超、唐榕、张吉峰

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作者单位：

北京真空电子科技有限公司,北京 100015

关键词：

速调管微小漏孔存储加压检测

出版年：

2022

DOI：

10.13385/j.cnki.vacuum.2022.04.04

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