真空卷绕蒸发镀膜机上实现镀透明氧化铝膜的一种方法

A Method for Coating Transparent Aluminum Oxide Film on Vacuum Winding Evaporation Coating Machine

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中文摘要：本文介绍了一种以普通真空卷绕镀铝机为基础,离子注入与气相沉积薄膜相结合的离子束辅助沉积表面改性技术.通过在普通卷绕镀膜设备上增设一套辅助轰击离子源,构成离子辅助沉积系统,可以实现透明氧化铝膜的镀制.详细说明了该镀膜方法的设备结构、特点与工作原理,并指出了该镀膜方法的推广与应用前景.所用设备还可以实现镀铝膜,突破了普通镀铝机镀膜种类的单一性.该技术响应国家号召,实现了氧化铝蒸发镀膜设备的国产化.

作者：

徐新昀、朱文丽、谢晋如、刘强、李雪峰

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作者单位：

兰州真空设备有限责任公司,甘肃兰州 730050

关键词：

真空卷绕镀铝设备离子束辅助沉积氧化铝膜

出版年：

2022

DOI：

10.13385/j.cnki.vacuum.2022.04.09

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