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多弧离子镀Zr/ZrN多层膜的力学性能研究

Research on Mechanical Properties of Zr/ZrN Multilayers by Multi-arc Ion Plating

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采用多弧离子镀膜法制备了 ZrN单层膜和不同调制比的Zr/ZrN多层膜,研究了调制比对多层膜力学性能的影响.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和微米压痕仪分别测试了薄膜的物相结构、表面形貌、硬度和结合力.结果表明:多层膜中ZrN有较高的结晶度,膜层表面形貌平整,组织结构致密,分布有球状Zr颗粒;Zr/ZrN多层膜的硬度高于单层ZrN薄膜,并随着调制比的增加先增大后减小,调制比为1:1时,Zr/ZrN多层膜的硬度达到1541.58Hv,结合力为51.61N.

刘洋、张雅楠、高晟元、赵祯赟、郑明昊、黄美东

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天津师范大学物理与材料科学学院,天津 300387

多弧离子镀 调制比 ZrN Zr/ZrN多层膜 力学性能

天津市大学生创新创业训练计划

202010065084

2022

10.13385/j.cnki.vacuum.2022.05.05

真空
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所

真空

CSTPCD
影响因子：0.926
ISSN：1002-0322
年,卷(期)：2022.59(5)
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